삼성전자는 이 일환으로 용인 국가산업단지에 팹 6기를 신설하는데 360조원을 투자한다. 삼성전자는 평택 일반산업단지에 팹 3기(120조원), 기흥 연구개발(R&D)센터에 연구용팹 3기(20조원)도 함께 마련한다. SK하이닉스도 반도체 메가 클러스터 일환으로 용인 일반산업단지에 122조원을 투입해 팹 4기를 구축한다.

현재 19개 생산팹(공장)과 2개 연구팹이 집적된 이 메가 클러스터에는 2047년까지 총 622조원을 투자해 16개(생산팹 13개·연구팹 3개)의 신규 팹을 신설한다. 이렇게 되면 이 메가 클러스터에는 총 37개 팹(생산팹 29개·연구팹 5개)이 가동된다.

이 메가 클러스터는 면적만 2102만㎡에 달한다. 2030년 기준으로 이 클러스터에서 생산하는 웨이퍼만 월 770만장 규모로 전 세계 최대다.

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2030년부터는 삼성이 용인남사 360조투자 보다 더 큰 규모의 메모리 반도체 클러스터 계획중(안성 유력) 기존 평택 메모리팹이 저때쯤 꽉참(아직 언론 발표 안되서 저기에는 포함 안됨)